· 李滔;饶浩勇;
金属-半导体-金属(metal-semiconductor-metal, MSM)紫外探测器在紫外杀毒、光纤通信、导弹追踪和航空航天等方面具有广泛的应用。根据传统MSM紫外探测器设计了一种基于氮化铝(aluminum nitride, AlN)的3D结构器件(3D-MSM),然后设计了不同电极间距(1、5、10和15μm)MSM器件和3D-MSM器件，并采用APSYS仿真软件分析了AlN基传统MSM器件和3D-MSM器件光电流、暗电流、响应度、时间光电响应及外量子效率等性能参数对器件性能的影响规律。仿真结果表明，采用3D结构后，器件内部电场分布及载流子迁移路径发生变化，器件的响应度得到加强，响应时间缩短，而电极间距越大，3D-MSM器件的光电性能相对于MSM器件的改善越显著。