李滔;饶浩勇;
金属-半导体-金属(metal-semiconductor-metal, MSM)紫外探测器在紫外杀毒、光纤通信、航空航天等方面具有广泛的应用。文中设计了一种基于氮化铝(aluminum nitride, AlN)的MSM紫外探测器，利用APSYS仿真软件分析了AlN基不同金属电极材料(Al-Al、Ni-Ni、Ni-Al)MSM器件性能和规律。仿真结果表明，由于金属功函数不同，Ni-Al器件存在内建电场，光生载流子分别聚集在两端电极接触面，从而影响器件光电流、暗电流、响应度、响应时间和弛豫时间等器件光电性能，且相较于Ni-Ni器件，Ni-Al器件的光响应稳态电流增强了37%,弛豫时间缩短了10%。非对称电极器件内产生的光生载流子，大多数都能成功地跳过金属-半导体接触面的势垒。因此，选择不同的金属作为MSM器件的电极，可以优化其光电响应特性。